A Study of Group 13-Nitride Atomic Layer Deposition - Computational Chemistry Modelling of Atomistic Deposition Processes
- Författare
- Linköpings universitet Karl Rönnby
- (Karl Rönnby., Härtill 7 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2023)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University | 2023 | Sverige, Linköping | xx, 73 sidor illustrationer | 978-91-8075-072-1 |